NANOMETRO®　FR系列

高精度测量陶瓷板等大型圆盘的平面度

本设备搭载旋转气动工作台，可测量直径达φ1000mm的圆盘表面形状，包括晶圆抛光用陶瓷板及研磨台等。
配备支持多种测量模式的专用软件，涵盖用于详细评估的同心圆测量及用于概略评估的放射状测量等功能。

特点

搭载旋转气动台，可测量晶圆抛光用陶瓷板、研磨台等最大φ1000mm的圆盘表面形状。配备有详细评价用同心圆测量、粗略评价用放射状测量等各种测量所需的评价用软件。

测头(接触式/非接触式)采用可根据客户所要求的评价项目和精度进行更换的设计，可对测定对象做出最适合的评价。可对应金属、陶瓷、玻璃、各种晶圆等各种工件。

同心圆测量：可设定测量范围、Pitch、回转数。可设定同心圆形的测量范围。最适合详细评价。
放射状测量：角度可以任意设定。最适合短时间内的形状测量。

采用我公司自制开发的软件，可满足据客户要求的结构显示·分析。测量Pitch可任意设定，实现了高自由性高精度测量。独特分析系统实现高精度高重复精度的测量。

我司自制设计的本体机构、软件可满足客户各种要求。可提供最合适测量方案。